检测设备
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24吋激光平面干涉仪仪器型号：VeriFire MST 633测试波长：632.8nm；测量指标：光学均匀性；透（反）射波面误差PV值、RMS值、中频PSD1等；平行平板平行度。 -
24吋激光平面干涉仪（正交偏振）仪器型号：VeriFire MST 633测试波长：632.8nm；测量指标：光学均匀性；晶体o光，e光折射率非均匀性；透（反）射波面误差PV值、RMS值、中频PSD1等；平行平板平行度。 -
4吋633nm干涉仪测试波长：632.8 nm；仪器型号：DMST –633-75-C-FM-1；检测指标：光学均匀性；透（反）射波面误差PV值、RMS值等；平行平板平行度。 -
24吋红外干涉仪测试波长：1053nm；仪器型号：VeriFire 1.053 MST；测量指标：光学均匀性；晶体o光，e光折射率非均匀性；透（反）射波面误差PV值、RMS值、中频PSD1等；平行平板平行度。