测试波长：1053nm；
仪器型号：VeriFire 1.053 MST；
偏振光：可出射水平和竖直的正交偏振光；
空腔波面误差：优于70nm，
空腔RMS的重复性不大于0.6nm（2σ）；
空腔波面误差PSD1不大于0.6nm；
测量指标：光学均匀性；晶体o光，e光折射率非均匀性；透（反）射波面误差PV值、RMS值、中频PSD1等；平行平板平行度。
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测试波长：1053nm；
仪器型号：VeriFire 1.053 MST；
偏振光：可出射水平和竖直的正交偏振光；
空腔波面误差：优于70nm，
空腔RMS的重复性不大于0.6nm（2σ）；
空腔波面误差PSD1不大于0.6nm；
测量指标：光学均匀性；晶体o光，e光折射率非均匀性；透（反）射波面误差PV值、RMS值、中频PSD1等；平行平板平行度。
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