测试波长：632.8 nm；
仪器型号：DMST –633-75-C-FM-1；
测试光束最大口径:4inch(Φ100 mm);
空间采样分辨率:1200×1200像素；
空腔波面误差(PV值):优于λ/20;
RMS测试重复率(2σ): λ/1000；
检测指标：光学均匀性；透（反）射波面误差PV值、RMS值等；平行平板平行度。
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测试波长：632.8 nm；
仪器型号：DMST –633-75-C-FM-1；
测试光束最大口径:4inch(Φ100 mm);
空间采样分辨率:1200×1200像素；
空腔波面误差(PV值):优于λ/20;
RMS测试重复率(2σ): λ/1000；
检测指标：光学均匀性；透（反）射波面误差PV值、RMS值等；平行平板平行度。
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