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检测设备

24吋激光平面干涉仪(正交偏振)

发布时间:2021-11-09 作者:白云波

仪器型号:VeriFire MST 633

测试波长:632.8nm;

偏振光:可出射水平和竖直的正交偏振光;

空腔波面误差:≤63nm;

空腔RMS的重复性不大于0.63nm(2σ);

空腔波面误差PSD1不大于0.65nm;

TF镜波面误差:≤53nm;

测试口径:直径≤Φ600mm。

测量指标:光学均匀性;晶体o光,e光折射率非均匀性;透(反)射波面误差PV值、RMS值、中频PSD1等;平行平板平行度。



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