仪器型号：VeriFire MST 633
测试波长：632.8nm；
空腔波面误差：≤63nm；
空腔RMS的重复性不大于0.63nm（2σ）；
空腔波面误差PSD1不大于0.65nm；
TF镜波面误差：≤53nm；
测试口径：直径≤Φ600mm。
测量指标：光学均匀性；透（反）射波面误差PV值、RMS值、中频PSD1等；平行平板平行度。
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仪器型号：VeriFire MST 633
测试波长：632.8nm；
空腔波面误差：≤63nm；
空腔RMS的重复性不大于0.63nm（2σ）；
空腔波面误差PSD1不大于0.65nm；
TF镜波面误差：≤53nm；
测试口径：直径≤Φ600mm。
测量指标：光学均匀性；透（反）射波面误差PV值、RMS值、中频PSD1等；平行平板平行度。
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