测试波长:570nm;
仪器型号：New View 8050；
标准块粗糙度Rq≤0.3 nm, Rq重复性≤0.01 nm(1σ)；
轮廓仪横向分辨力≤0.03 mm；
标准块反射波前PSD2≤0.367 nm, PSD2重复性≤0.005 nm(1σ)。
测量指标：光学元件表面粗糙度、台阶高度、PSD2等。
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测试波长:570nm;
仪器型号：New View 8050；
标准块粗糙度Rq≤0.3 nm, Rq重复性≤0.01 nm(1σ)；
轮廓仪横向分辨力≤0.03 mm；
标准块反射波前PSD2≤0.367 nm, PSD2重复性≤0.005 nm(1σ)。
测量指标：光学元件表面粗糙度、台阶高度、PSD2等。
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