仪器型号：Panalytical empyrean；
样品最大尺寸：500mm(W)×500mm(L)×10mm(H)；
测量指标：晶体、薄膜、粉末等物质的物相结构；晶体、结晶薄膜的应力；纳米级薄膜的厚度、密度等。
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仪器型号：Panalytical empyrean；
样品最大尺寸：500mm(W)×500mm(L)×10mm(H)；
测量指标：晶体、薄膜、粉末等物质的物相结构；晶体、结晶薄膜的应力；纳米级薄膜的厚度、密度等。
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