仪器型号：Zeiss Auriga；
样品最大尺寸：80mm(W)x80mm(L)x15mm(H)；
测量指标：晶体陶瓷、纳米微腔、光电器件、无机介质等的高分辨纳米级表面成像和成分、微结构分析。
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仪器型号：Zeiss Auriga；
样品最大尺寸：80mm(W)x80mm(L)x15mm(H)；
测量指标：晶体陶瓷、纳米微腔、光电器件、无机介质等的高分辨纳米级表面成像和成分、微结构分析。
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