中波红外激光干涉仪基于中波红外相干光源、移相干涉术及菲索型干涉等多项原理设计，搭载高精度快速移相、自研MAPSI多表面测量、高精度相位解包、高精度抗振测量等核心自研技术，具备面形误差、透射波前误差、光学均匀性、面形Zernike拟合、系统传递函数（ITF）等测量功能，确保...

4英寸短相干动态干涉仪基于短相干光源、偏振移相干涉术及菲索型干涉等多项原理设计，搭载‌瞬时相位传感器‌、‌微秒级高速快门‌及‌菲索型共光路等核心技术，确保复杂工业环境下依然实现稳定、精准的实时检测。

中国科学院上海光学精密机械研究所检测中心研究团队研制的高精度电光晶体定向仪入选《中国科学院自主研制科学仪器 2022》信息与工程科学类目。

中国科学院上海光学精密机械研究所检测中心研究团队研制的Φ600mm口径激光干涉仪（含拼接装置）入选《中国科学院自主研制科学仪器2020》信息与工程科学类目。