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科研仪器

自研高精度电光晶体定向仪入选《中国科学院自主研制科学仪器 2022》专刊

发布时间:2022-08-08

为进一步加强对自主研制科学仪器成果的推广应用,促进自主研制工作的可持续发展,中国科学院条件保障与财务局梳理出了技术成熟度高且具有重要应用推广价值的自主研制科学仪器及部件,并通过《中国科学院院刊》平台正式出版了《中国科学院自主研制科学仪器 2022》。

中国科学院上海光学精密机械研究所检测中心研究团队研制的高精度电光晶体定向仪入选《中国科学院自主研制科学仪器 2022》信息与工程科学类目。

高精度电光晶体定向仪应用于电光晶体的非接触定向和高精度切割制造及测量领域,该设备的锥光干涉条纹图分辨率为2048×2048,可测量的样品尺寸不大于400mm×400mm,厚度10-20mm,Z轴偏离角测量精度优于0.200 mrad

相关工作得到了重大专项项目、中科院仪器修购专项等项目的支持。


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