自研大口径高精度电光晶体定向仪

图1 大口径高精度电光晶体Z轴偏离角检测平台

检测指标：

1. 测量方式：非接触式；
2. 测量原理：锥光干涉法；
3. 可测量的晶体类型：抛光的电光晶体；
4. 可测量的晶体尺寸：不大于400mm×400mm、厚度10mm~20mm；
5. 测量精度：优于0.200mrad；
6. 测量重复性：优于0.020mrad。

参考文献：

[1] Qi Lu, Shenghao Wang, You Zhou, Shijie Liu, and Jianda Shao, "High-precision determination of the cut angle of an electro-optic crystal by conoscopic interference," Appl. Opt. 57, 6886-6891 (2018)

[2] 刘世杰, 鲁棋, 周游, 王圣浩, 徐天柱, 王微微, 邵建达. 电光晶体通光面法线与晶体光轴的夹角测量装置和方法. 中国专利: ZL201710917302.9, 2019-05-17.