图1 大口径高精度电光晶体Z轴偏离角检测平台
检测指标:
- 测量方式:非接触式;
- 测量原理:摇摆曲线比对法;
- 可测量的晶体类型:抛光的二倍频晶体;
- 可测量的晶体尺寸:不大于400mm×400mm;
- 测量精度:优于5.000μrad;
- 测量重复性:优于0.500μrad。
参考文献:
[1] Qi Lu, Shijie Liu, Xiangchao Zhang, Tianzhu Xu, Jingyu Pan, Min Xu, and Jianda Shao, "High-accuracy and high-repeatability measurement of the cut error of a nonlinear uniaxial crystal," Appl. Opt. 60, 41-46 (2021)
[2] 刘世杰, 鲁棋, 徐天柱, 潘靖宇, 周游, 王圣浩, 邵建达. 倍频晶体定轴误差测量装置及测量方法. 中国专利: ZL201910116649.2, 2020-10-16.