自研大口径高精度倍频晶体定向仪

图1 大口径高精度电光晶体Z轴偏离角检测平台

检测指标：

1. 测量方式：非接触式；

2. 测量原理：摇摆曲线比对法；
3. 可测量的晶体类型：抛光的二倍频晶体；
4. 可测量的晶体尺寸：不大于400mm×400mm；
5. 测量精度：优于5.000μrad；
6. 测量重复性：优于0.500μrad。

参考文献：

[1] Qi Lu, Shijie Liu, Xiangchao Zhang, Tianzhu Xu, Jingyu Pan, Min Xu, and Jianda Shao, "High-accuracy and high-repeatability measurement of the cut error of a nonlinear uniaxial crystal," Appl. Opt. 60, 41-46 (2021)

[2] 刘世杰, 鲁棋, 徐天柱, 潘靖宇, 周游, 王圣浩, 邵建达. 倍频晶体定轴误差测量装置及测量方法. 中国专利: ZL201910116649.2, 2020-10-16.