在光学镀膜元件波前质量研究领域，我中心近日取得了重要突破。经过科研人员的不懈努力，成功研制出Φ300mm光学元件环境条件测试平台，这一平台的诞生将为研究环境变化对光学元件性能的细微影响提供有力支持。
该平台集成了先进的测试技术，包括一台Φ100mm（或Φ300mm）菲索激光干涉仪，用于精确测量波前质量，以及一个宽敞的环境舱，用于模拟各种环境条件。通过该平台，科研人员可以更加深入地了解不同环境条件下光学元件的性能表现，为光学镀膜技术的进一步发展提供坚实的数据支撑。
该平台的主要性能参数令人瞩目，其主要指标参数如下：
（1）最大测试口径：Φ300mm
（2）测试波长：由干涉仪主机决定（标准波长为632.8nm、660nm或1053nm，定制波长为400~5000nm范围内的任意波长）
（3）被测对象：平面光学元件（含透明平行平板）
（4）被测参数：面形误差（PV、RMS等）、透射波前等
（5）所用测量技术：高精度移相干涉术，基于傅里叶移相干涉术（FTPSI）或多尺度分析移相干涉术（MAPSI）的多表面面形测量技术等
（6）环境舱舱内指标：温度15~35℃、精度0.1℃；湿度1%~60% R.H.、精度0.1% R.H.；洁净度：1000级（ISO 6级）
（7）舱内环境从调整到到达目标值用时：≤30分钟（与舱内温湿度与目标值的差异大小有关）
（8）配套：样品电动二维调整架（无线遥控器控制）
图1 Φ300mm光学元件环境条件测试平台
图2 环境舱三维模型示意图
此次成功研制Φ300mm光学元件环境条件测试平台,标志着我中心在光学镀膜元件波前质量研究领域取得了重要进展。未来,该平台将在光学镀膜技术的研发和应用中发挥重要作用,推动光学领域的技术进步和产业发展。