4英寸短相干动态干涉仪基于短相干光源、偏振移相干涉术及菲索型干涉等多项原理设计，搭载瞬时相位传感器、微秒级高速快门及菲索型共光路等核心技术，确保复杂工业环境下依然实现稳定、精准的实时检测。
本设备具备：
✔ 强抗干扰能力（有效抑制环境振动与空气湍流）
✔ 纳米级测量精度（波前/面形误差测量达λ/100 RMS）
✔ 支持0.1mm厚超薄平行平板双面面形检测
✔ 支持通过配备相应扩束系统形成Φ800mm口径动态干涉仪
应用领域包括：
✔ 高端制造：集成电路、航空航天光学元件高精度检测
✔ 强激光系统：大口径长焦距球面/非球面实时波前/面形检测
✔ 天文观测：望远镜镜面形动态分析
✔ 工业精密测量：复杂环境下的快速动态测量
技术优势：相比传统时序移相干涉仪（如：机械移相干涉仪、波长调谐移相干涉仪），无需时序采样，降低对环境稳定性的依赖，测量更实时！虽制造和校准成本较高，但为高精度动态测量场景提供了不可替代的解决方案。
技术指标：
| 序号 | 参数 | DynaS106技术指标 |
| 1 | 中心波长 | 633±1 nm |
| 2 | 测量口径 | 106 mm (4.2 inch) |
| 3 | 相干长度 | ~300 μm |
| 4 |
测量腔长 | ±2000 mm |
| 5 |
干涉图分辨率 |
2048×2048 |
| 6 |
采集帧率 |
60 Hz |
| 7 |
对点图像分辨率 |
1280×1024 |
| 8 |
对点视场 |
标配±2°或±4.5° (对角线) |
| 9 |
透射标准镜参考面面形误差 |
标配PV≤λ/10或PV≤λ/20 |
| 10 |
透射标准镜二维调节范围 |
±4° (绝对二维调整) |
| 11 |
光束中心高 |
108±5mm (可调) |
| 12 |
电源要求 |
AC 110-220V、50-60 Hz |
| 13 |
测量软件PhasePro-PPSI |
1套 |
| 14 |
反射标准镜 | 1块 |
| 15 | 反射标准镜二维调整架 | 1个 |
| 16 |
干涉仪腿压块 |
4个 |
| 17 |
调焦用无线遥控器 |
1个 |
| 18 | 高同轴度激光指示器（配4 inch卡口） | 选配（专利TM） |
相关图片及视频：
腔长匹配过程视频