近日，我中心鲁棋老师在光学仪器领域期刊《Review of Scientific Instruments》上报道了在488-1064nm高精度宽波段激光干涉仪研究上取得的进展。
该研究基于移动式球透镜和非球面准直镜补偿离焦像差的原理，提出一种多波长激光干涉测量系统。该系统能在488-1064nm波段内进行多种波长下的干涉测量，波前误差PV值测量精度优于0.040λ，测量重复性精度优于0.004λ（λ=632.8nm）。该项技术解决了传统单波长激光干涉仪不能在宽光谱下高精度工作的问题，拓宽了传统单波长激光干涉仪的应用范围。
相关成果见：Qi Lu, Shijie Liu, Jianda Shao, You Zhou, Tianzhu Xu, Jingyu Pan, Shenghao Wang, Yunbo Bai, Xueke Xu; A simple high-precision wide-spectrum interferometric system. Rev. Sci. Instrum. 1 July 2019; 90 (7): 075109.
图1 光学设计模型解释了所提出的系统如何在每个波长下高精度工作：(a) 不同入射激光波长的重叠光路；(b) 重叠光路的放大图，其指示对应于每个入射波长应当放置球透镜的不同位置
图2 所提出的高精度宽波段干涉测量系统的实验装置(a)以及光纤支架和球透镜的机械结构图(b)
图3 使用LAMBDA 1050分光光度计测量Φ138 mm太阳能滤光片样品(a)及其在400–1100 nm波长范围内的透射光谱(b)，该图中的坐标(632.8,0.0059)表示样品在632.8nm处的透射率为0.0059%
图4 用660.0nm的4D干涉仪(a)和808.0 nm的实验装置测量(b)的干涉图，可见4D干涉仪无法测量该样品。图中有效测量口径均为Φ90.127mm