光学检测实验室
主要从事光学元件波面误差、表面粗糙度检测,主要检测设备如下:
4吋633nm干涉仪
12吋1053nm干涉仪
32吋633nm干涉仪
32吋1053nm激光平面干涉仪
大口径表面轮廓仪
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