检测设备
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傅里叶变换红外光谱仪仪器型号：Thermo Fisher iS50；样品尺寸要求：样品应大于通光孔有效口径，厚度不小于2mm；测量指标：有机、无机、高分子、半导体、复合材料等的红外波段透射、反射、吸收光谱。 -
高真空离子溅射/蒸镀一体化镀膜仪仪器型号：Quorum Q150T ES；样品最大尺寸：Φ100mm；主要功能：用于普通扫描电镜（SEM）镀膜制样；可为EDS分析蒸镀碳导电膜、为TEM分析制作无定形碳覆形膜及栅网支持膜。