检测设备
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高分辨透射电镜仪器型号：Talos F200X；测量指标：材料的微观形貌、晶体结构、化学成分等。
飞行时间二次离子质谱仪仪器型号：PHI nanoTOFⅡ；样品最大尺寸：30mm（W）×3mm（L）；测量指标：采集信息范围：全元素ppm级快速扫描；微区分成像、深度剖面分析。
多功能X射线衍射仪仪器型号：Panalytical empyrean；样品最大尺寸：500mm(W)×500mm(L)×10mm(H)；测量指标：晶体、薄膜、粉末等物质的物相结构；晶体、结晶薄膜的应力；纳米级薄膜的厚度、密度等。
高分辨双束场发射扫描电子显微镜仪器型号：Zeiss Auriga；样品最大尺寸：80mm(W)x80mm(L)x15mm(H)；测量指标：晶体陶瓷、纳米微腔、光电器件、无机介质等的高分辨纳米级表面成像和成份、微结构分析。