科研论文
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大口径干涉仪原位绝对面形检测技术领域取得进展近日,我中心研究团队在Φ 600mm口径干涉仪绝对检测技术研究方向取得新进展,提出一种基于多表面干涉原理的原位绝对面形检测技术,实现Φ 600mm口径干涉仪标准平晶绝对面形误差的原位测量,相关成果发表在光学领域JCR 1区期刊《Optics and Lasers in Engineering》上。2020-03-02
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488-1064nm高精度宽波段激光干涉仪研究取得进展近日,我中心鲁棋老师在光学仪器领域期刊《Review of Scientific Instruments》上报道了在488-1064nm高精度宽波段激光干涉仪研究上取得的进展。2019-07-12
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