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自研大口径高精度电光晶体定向仪
大口径高精度电光晶体Z轴偏离角检测平台。检测指标:测量方式:非接触式。1.测量方式:非接触式;2.测量原理:锥光干涉法;3.可测量的晶体类型:抛光的电光晶体;4.可测量的晶体尺寸:不大于400mm×400mm、厚度10mm~20mm;5.测量精度:优于0.200mrad;6.测量重复性:优于0.02...
2019-01-05
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