大口径高精度电光晶体Z轴偏离角检测平台。检测指标：测量方式：非接触式。1.测量方式：非接触式；​2.测量原理：锥光干涉法；3.可测量的晶体类型：抛光的电光晶体；4.可测量的晶体尺寸：不大于400mm×400mm、厚度10mm~20mm；5.测量精度：优于0.200mrad；6.测量重复性：优于0.02...